11:30 〜 11:45 [11a-Z04-8] Mgイオン注入GaNに対する低温熱処理の効果における表面保護膜材料依存性 〇村井 駿太1、呉 恩誠1、赤澤 正道1、加地 徹2 (1.北大量集センター、2.名大未来材料・システム研)