13:15 〜 13:30 [8p-Z25-1] RBS法による膜厚測定から求めた高エネルギータングステンの自己スパッタリング収率の測定 〇中川 創平1、星野 靖2、加藤 太治3、間嶋 拓也1、斉藤 学1、土田 秀次1 (1.京大院工、2.神奈川大理、3.核融合研)