09:30 〜 09:45 △ [8a-Z17-3] Si基板上エピタキシャルPb(Zr,Ti)O3薄膜の正・逆圧電特性評価 〇譚 ゴオン1、Eun-Ji Kim2、Sang-Hyo Kweon3、神野 伊策3 (1.大阪府大、2.Korea Univ.、3.神戸大工)