09:30 〜 09:45 [9a-Z10-5] 局所クリーン化のための微粒子に関する基礎実験 Ⅱ 〇谷島 孝1、クンプアン ソマワン1,2、前川 仁1,2、原 史朗1,2 (1.産総研、2.ミニマルファブ推進機構)