15:30 〜 15:45 [9p-Z05-11] XPSデータセットの自動解析によるGaN初期酸化過程解析のハイスループット化 〇原田 善之1、角谷 正友1、篠塚 寛志1、登坂 弘明1、松波 成行1、田沼 繁夫1、吉川 英樹1 (1.物材機構)