09:30 〜 09:45 △ [11a-Z09-5] BEOLプロセス互換酸化物半導体In-Al-Zn-Oを用いたゲート長40 nmのSurrounding Gate 縦型FETの動作実証 〇藤原 弘和1、佐藤 祐太1、斉藤 信美1、上田 知正1、池田 圭司1 (1.キオクシア(株))