11:00 〜 11:15 [8a-Z05-8] C6系有機化合物-N2混合気体高周波プラズマを用いた 高窒素含有 a-CNx:H 薄膜の作製と構造解析 〇家老 克徳1、伊藤 治彦1、斎藤 秀俊1 (1.長岡技科大工)