13:15 〜 13:30 [10p-Z05-4] アセチレン-N2混合気体のマイクロ波プラズマ CVDによる高窒素含有a-CNx:H薄膜の作製と構造解析 〇(M1)佐藤 悠雅1、伊藤 治彦1 (1.長岡技術科学大学)