[8p-Z17-1~12] 6.1 強誘電体薄膜

[8p-Z17-11] 非鉛BiFeO₃圧電膜を用いた圧電MEMS振動発電素子の非線形特性

〇村上 修一¹、吉村 武²、金岡 祐介¹、佐藤 和郎¹、藤村 紀文² (1.大阪技術研、2.大阪府大院工)

キーワード：振動発電, MEMS, BiFeO3

我々は構造が簡便で小型化に有利な圧電MEMS振動発電素子の研究開発を進めている。今までに、振動加速度が高くなった際のPb(Zr,Ti)O₃(PZT)圧電膜を用いた振動発電素子の非線形出力について、逆圧電効果により生じる減衰を考慮した一自由度バネ・質量・ダッシュポット系モデルを基に報告している。今回、非鉛BiFeO₃(BFO)圧電膜を用いた場合の非線形出力について新たな知見が得られたので報告する。