15:45 〜 16:00 [8p-Z17-11] 非鉛BiFeO3圧電膜を用いた圧電MEMS振動発電素子の非線形特性 〇村上 修一1、吉村 武2、金岡 祐介1、佐藤 和郎1、藤村 紀文2 (1.大阪技術研、2.大阪府大院工)