[8p-Z25-1~13] 【CS.1】 2.4 加速器質量分析・加速器ビーム分析 と 7.5 イオンビーム一般のコードシェアセッション

[8p-Z25-2] 低速陽電子ビームを用いたDLC系薄膜のナノ構造と水素影響の評価

〇(M2)池田 佳祐^1,2、木野村 淳¹、中島 諒^1,2、葛谷 佳広¹、薮内 敦¹、中尾 節男³、鈴木 耕拓⁴、安田 啓介⁵ (1.京大複合研、2.京大院工、3.産総研、4.若狭湾エネ研、5.京都府立大)

キーワード：DLC, 陽電子

低摩擦性など多くの優れた性質を持つDLC薄膜は、医療機器コーティング材にも適した特性を持っておりその応用が期待されている。本研究では、その特性の中で濡れ性に着目し、DLCのナノ構造との相関性を調べる。DLC薄膜に添加する元素、熱処理温度、薄膜中の水素密度を変化させ、濡れ性の測定とERDA法による水素量測定とともに、低速陽電子ビーム測定でナノ構造を評価して、最も特性変化に影響する要因を調べる。