2020年第81回応用物理学会秋季学術講演会

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一般セッション(口頭講演)

CS コードシェアセッション » 【CS.1】 2.4 加速器質量分析・加速器ビーム分析 と 7.5 イオンビーム一般のコードシェアセッション

[8p-Z25-1~13] 【CS.1】 2.4 加速器質量分析・加速器ビーム分析 と 7.5 イオンビーム一般のコードシェアセッション

2020年9月8日(火) 13:15 〜 16:45 Z25

瀬木 利夫(京大)、盛谷 浩右(兵庫県立大)

14:00 〜 14:15

[8p-Z25-4] 高速イオン照射によるSiO2の密度変化

前田 桃郷1、高廣 克己1、西山 文隆2 (1.京都工繊大、2.広島大)

キーワード:イオンビーム, Silica

SiO­2に数MeVのエネルギーをもつ高速のイオンを照射すると、表面に凹凸が形成される。これは密度の変化に伴うものであり、特に非晶質のSiO2の場合、イオン照射によって密度が増加する。本講演では、このイオン照射によって起こるSiO2の表面変化について、密度変化にともなうマクロな表面形状変化と、原子レベルでのミクロな結合状態の変化の関連を報告する。