[9a-Z10-1~11] 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・MEMS・装置技術

△ [9a-Z10-2] ミニマルファブを用いた極薄ピエゾ抵抗式歪センサの作製

〇竹下 俊弘¹、クンプアン ソマワン^1,2、根本 一正¹、原 史郎^1,2、小林 健¹ (1.産総研、2.ミニマルファブ)

キーワード：ミニマルファブ, フレキシブルハイブリッドエレクトロニクス, MEMS