[9p-Z19-1~16] 3.15 シリコンフォトニクス・集積フォトニクス

[9p-Z19-13] シリコンスロット光導波路によるエタノールガス濃度の評価とDNA修飾による増感特性

〇山田 恭史¹、星 隼人¹、伊藤 広平¹、池袋 一典¹、清水 大雅¹ (1.農工大工)

キーワード：Siスロット導波路, リング共振器, ガスセンサー

並行した2本のSi細線が並ぶスロット導波路は導波路間に光を強く閉じ込めることができ、高感度で小型・オンチップのセンサへの応用が期待されている。高分子ポリマーやDNA等を修飾することで、ガス分子の種類による吸着特性の違いやSPRセンサへのVOCガス検出時の増感特性が報告されている。本研究では、Siスロットリング共振器センサにDNAを修飾し、エタノールガスを供給し、ガス濃度を変化させたときの共振波長のシフトをDNA修飾の有無で比較評価したので報告する。