[9p-Z20-1~16] 21.1 合同セッションＫ 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

[9p-Z20-7] 直接合成法によるβ-Ga₂O₃の結晶成長における供給温度の影響

〇神元 将太¹、西野 克志¹ (1.徳島大学)

キーワード：Ga2O3, 直接合成法