[9p-Z25-1~6] 7.3 微細パターン・微細構造形成技術

[9p-Z25-2] レーザープラズマ3nm軟X線リソグラフィー加工

〇天野 壯¹ (1.兵庫県大高度研)

キーワード：軟X線リソグラフィー, レーザープラズマ, 固体アルゴン

開発した固体Arレーザープラズマ光源からの波長3.37nmの軟X線を、NiCr/V₂O₅多層膜がコートされた楕円ミラーでPMMA上に集光して、Niメッシュ(2000/inch)のコンタクトマスクによりリソグラフィー加工を行った。サンプル上での軟X線強度が0.0065 mJ/cm²の時、1000 shotsの露光で深さ130 nmのマスクに対応した微細構造が形成された。