09:45 〜 10:00 [13a-D419-4] 残留 Ar を伴う Al 添加 ZnO 透明導電膜の化学結合状態 〇山本 哲也1、野本 淳一2、牧野 久雄1、土屋 哲男2 (1.高知工科大総研、2.産総研)