13:30 〜 15:30 [12p-PA3-17] Heイオン顕微鏡を用いた二ホウ化マグネシウム薄膜の微細加工 小野 享太朗1、法澤 公寛2、大西 広3、中野 和佳子3、内藤 方夫4、酒井 大輔1、〇柴田 浩行1 (1.北見工大、2.阪大産研、3.北大電子研、4.農工大工)