15:30 〜 15:45 [12p-A305-7] 高精度電流計測アレイテスト回路を用いたMIM素子の大規模測定 〇鈴木 勇人1、朴 賢雨1、寺本 章伸2,3、黒田 理人1,3、諏訪 智之3、須川 成利1,3 (1.東北大院工、2.広大ナノデバイス、3.東北大NICHe)