15:30 〜 15:45 [12p-A403-9] 核反応解析法と原子間力顕微鏡を用いたTiOx/SiOx/Siヘテロ構造におけるパッシベーション性能の支配要因 〇中川 裕太1、後藤 和泰1、ビルデ マーカス2、小倉 正平2、黒川 康良1、福谷 克之2、宇佐美 徳隆1 (1.名大院工、2.東大生研)