14:45 〜 15:00 [12p-A302-7] マイクロ波励起水プラズマアッシングにおけるOHラジカルとアッシング均一性の相関 〇相澤 洸1、島田 大伸1、櫻井 匡1、石島 達夫1、田中 康規1、上杉 喜彦1、中野 裕介1、井上 樹2、小野 亮2 (1.金沢大自然、2.東大工)