09:30 〜 11:30 [15a-PB2-22] 光学干渉非接触温度計を用いたプラズマプロセス中のシリコンウェハ温度の高精度測定 〇(M2)亀田 朝輝1、水川 友里1、花房 宏明1、東 清一郎1 (1.広大先端研)