[12a-PA2-1~77] 17 ナノカーボン

[12a-PA2-34] 酸化グラフェンを援用したシリコンのパターンエッチング

〇島川 紘¹、窪田 航¹、宇都宮 徹¹、一井 崇¹、杉村 博之¹ (1.京大院工)

キーワード：酸化グラフェン、パターン、エッチング