[12p-A205-1~15] 8.2 プラズマ成膜・エッチング・表面処理

[12p-A205-2] Ar/CH₄プラズマCVDモデルにおけるAr混合比がDLC膜表面および水素含有率に及ぼす影響の解析

〇(M2)小川 慎¹、小田 昭紀¹、太田 貴之²、上坂 裕之³ (1.千葉工大工、2.名城大理工、3.岐阜大工)

キーワード：プラズマ支援化学気相成長法、ダイヤモンドライクカーボン、シミュレーション

ダイヤモンドライクカーボン（Diamond-Like Carbon, 以下DLC）膜は高硬度，低摩擦係数といった特性を持つ膜である．DLCの成膜手法の1つにプラズマ支援化学気相成長法があり，膜の平滑性や付き回り性の良さが特徴である．
本研究では，炭化水素およびArイオンのDLC膜表面および膜内部への影響の解析を目的とし，プラズマ支援化学気相成長法によるDLC成膜モデルを構築し，DLC膜中の水素含有率および水素の薄膜表面被覆率について報告する．