PDF ダウンロード スケジュール 1 いいね! 0 コメント (0) 10:45 〜 11:00 [13a-D519-7] PZT系エピタキシャル薄膜共振子の600 ºC以上の高温域における圧電特性 〇松田 友佳1,3、柳谷 隆彦1,2,3 (1.早大、2.JST さきがけ、3.材研) キーワード:PTO、圧電体、エピタキシャル成長