[14a-A205-1~10] 23.1 合同セッションN「インフォマティクス応用」

△ [14a-A205-9] 多重ピークを基底関数とした多元素XPSスペクトル解析の手法開発

〇(B)村上 諒¹、仲村 和貴¹、田中 博美¹、篠塚 寛志²、永田 賢二²、吉川 英樹² (1.米子高専、2.物材機構)

キーワード：自動スペクトル解析、Ｘ線光電子分光

本研究では，参照スペクトルを多重ピークから成る基底関数でモデル化し多相化合物のスペクトルと照合することで，化合物の成分比率を全自動で推定する手法を開発した．モデル化された参照スペクトルを利用することにより，装置によるエネルギー分解能の違いや試料の表面電荷に依存するピークシフト量の違いの補正を容易にし，他機関の装置で計測したデータや文献のデータを活用することが可能となった．