[14a-PB4-1~15] 3.7 レーザープロセシング

[14a-PB4-11] F₂レーザーによるポリカーボネート上Al薄膜パターニングの微細化

〇吉田 剛¹、野尻 秀智²、大越 昌幸¹ (1.防大電気電子、2.（株）レニアス)

キーワード：VUVレーザー、マイクロパターニング

本研究室ではポリカーボネート(=PC)窓材のスマート化のため電極形成技術の開発を目指している。本実験ではシリコーン樹脂ハードコート層を持つPC基板上に真空蒸着したAl薄膜を対象とし、F2 レーザー照射とKOH水溶液によるケミカルエッチングを用いてAl薄膜の10 μmスケールでのパターンを作成した。発表では、本手法の微細化の可能性についてパターニングのメカニズムとともに議論する。