[14p-PB4-1~22] 8 プラズマエレクトロニクス

[14p-PB4-19] 氷の自己組織化構造を用いたプラズマ支援凍結テンプレート法による複合薄膜作製プロセスの開発

〇岩瀬 謙吾¹、榊原 教貴^1,2、伊藤 剛仁¹、寺嶋 和夫¹ (1.東大院新領域、2.学振特別研究員)

キーワード：クライオプラズマ、氷、凍結