[15a-A202-1~8] 13.2 探索的材料物性・基礎物性

△ [15a-A202-2] CaSi₂粉末のMgCl₂/Mg雰囲気処理によるMg₂Siナノシート束の作製

〇古賀 友也¹、沼澤 有信²、志村 洋介^1,2,3、高橋 尚久⁴、立岡 浩一² (1.静大工、2.静大院工、3.静大電研、4.ヤマハ発動機先進材料研)

キーワード：シリサイド半導体、ナノシート

Mg₂Siは環境に優しい熱電材料として注目されている．一方，低次元材料では特異な特性が発現することからその開発とデバイスへの応用が期待されている．これまでSiナノシート束をCaSi₂よりCaを脱離する事により作製してきた．また、閉管容器内にてMgCl₂を用いた熱処理によるMg₂Si/Siナノシート束の作製が報告されている．本研究では，真空中にてMgCl₂，及びMg金属を用いた熱処理によりMg₂Siナノシート束を作製し微細構造を評価した．