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[15a-B508-5] III-V/Si直接接合構造を有するリッジ型レーザ特性のSi導波路幅依存性
キーワード:III-V/Siハイブリッド集積、直接接合、リッジ型レーザ
III-V/Siハイブリッド集積は小型・高速・低消費電力な次世代光集積回路実現に対し有望である。特に、III-V/Si直接接合構造を有するハイブリッドレーザでは、Si導波路とIII-V領域の両方の幅を設計パラメータとすることで、デバイス用途に応じた光のモード形状制御が可能である。我々はIII-V/Siリッジ型レーザを作製し、特性のSi導波路幅依存性からこれを実証したので報告する。