[15a-D221-1~6] 6.2 カーボン系薄膜

△ [15a-D221-1] PTFEターゲットを用いてRF-UBMS法で形成したフルオロカーボン膜の膜質

〇戸谷 陽文¹、針谷 達¹、爲國 公貴¹、滝川 浩史¹、神谷 雅男² (1.豊橋技科大、2.伊藤光学)

キーワード：フルオロカーボン膜、ポリテトラフルオロエチレン（PTFE）、RFアンバランスドマグネトロンスパッタリング法

フルオロカーボン（C_xF_y）膜の一種であるポリテトラフルオロエチレン（PTFE）は，優れた撥水性や耐薬品性を持っており，自動車部材産業や半導体産業などの幅広い分野で利用されている。本研究では，高い母材密着性を得るために，PTFEをターゲットに用いたRFアンバランスドマグネトロンスパッタリング（RF-UBMS）法により，C_xF_y膜を形成し，その膜特性を分析した。