10:30 〜 10:45 △ [15a-D221-1] PTFEターゲットを用いてRF-UBMS法で形成したフルオロカーボン膜の膜質 〇戸谷 陽文1、針谷 達1、爲國 公貴1、滝川 浩史1、神谷 雅男2 (1.豊橋技科大、2.伊藤光学)