[15p-A201-1~15] 15.6 IV族系化合物（SiC）

[15p-A201-15] On-the-flyチャージポンピング法によるSiC MOSFET負バイアスストレス時の界面トラップ生成解析

〇岡本 大¹、染谷 満²、坂田 大輝¹、張 旭芳¹、松谷 優汰¹、畠山 哲夫³、岡本 光央²、原田 信介²、矢野 裕司¹、岩室 憲幸¹ (1.筑波大、2.産総研、3.富山県立大)

キーワード：SiC、界面