PDF ダウンロード スケジュール 2 いいね! 0 コメント (0) 14:15 〜 14:30 △ [15p-D305-5] 低圧スパッタによる負イオン照射の増大とScAlN薄膜の圧電性の劣化 〇冨永 卓海1、高柳 真司1、柳谷 隆彦2 (1.同志社大、2.早稲田大) キーワード:ScAlN、スパッタ、圧電薄膜