09:15 〜 09:30 △ [10a-S301-2] エッチング装置で生成したアルゴン低気圧誘導結合プラズマの発光分光計測による電子温度・電子密度・電子エネルギー分布関数診断 〇山下 雄也1、秋葉 拓也1、岩永 敏秀1、伊達 修一1、山岡 英彦1、赤塚 洋2 (1.都立産業技術研究センター、2.東工大研究院)