16:30 〜 16:45 [13p-S201-14] ミスト CVD 法によるβ-(AlxGa1-x)2O3混晶薄膜成長 〇金子 真大1、堀江 竜斗1、梶田 優気1、西中 浩之1、吉本 昌広1 (1.京都工繊大)