14:45 〜 15:00 △ [10p-N203-6] 多元素分子イオン注入誘起欠陥の熱的挙動の加熱TEMその場観察–CH3Oイオン注入誘起EOR欠陥の熱的分解挙動の反応速度論的解析– 〇鈴木 陽洋1、廣瀬 諒1、門野 武1、小林 弘治1、柾田 亜由美1、奥山 亮輔1、古賀 祥泰1、栗田 一成1 (1.SUMCO)