13:00 〜 14:40 [22p-P01-5] β-W薄膜の結晶構造に対する成膜基板温度およびWターゲット距離の影響 〇(M2)山中 智貴1、リ ハンテ1、伊庭野 健造1、上田 良夫1 (1.阪大工)