09:00 〜 09:15 [13a-N101-1] 透過電子顕微鏡を用いたScAlMgO4基板上RF-MBE成長GaNの極微構造評価 〇和田 邑一1、黒田 悠弥1、栢本 聖也1、後藤 直樹1、藤井 高志1,2、毛利 真一郎1、白石 裕児2、福田 承生2、荒木 努1 (1.立命館大理工、2.(株)福田結晶研)