15:00 〜 16:40 [23p-P12-9] 窒素添加スパッタ法による高移動度アモルファスIn2O3:Sn薄膜の高温成膜 〇御堂 雄大1、山下 大輔1、奥村 賢直1、鎌滝 晋礼1、古閑 一憲1、白谷 正治1、板垣 奈穂1 (1.九大シス情)