16:15 〜 16:30 △ [12p-N301-11] 製膜後RTA処理したミストCVD HfxZr1-xO2薄膜の各特性 〇(M2)藤原 悠希1、西中 浩之1、吉本 昌広1、野田 実1 (1.京工繊大)