2021年第82回応用物理学会秋季学術講演会

関根 誠

座長等

2021年9月11日(土) 13:30 〜 16:55 S301 (口頭)

  • シンポジウム(口頭講演)
  • | シンポジウム
  • | 未来デバイス製造のためのアトミックレイヤープロセス;表面反応ダイナミクスの理解と制御

関根 誠(名大)、金 載浩(産総研)