2021年第82回応用物理学会秋季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

CS コードシェアセッション » 【CS.1】 2.3 加速器質量分析・加速器ビーム分析、7.5 イオンビーム一般のコードシェアセッション

[10a-N402-1~9] CS.1 2.3 加速器質量分析・加速器ビーム分析、7.5 イオンビーム一般のコードシェアセッション

2021年9月10日(金) 09:00 〜 11:30 N402 (口頭)

豊田 紀章(兵庫県立大)、二宮 啓(山梨大)

09:15 〜 09:30

[10a-N402-2] 有機酸とAr-GCIB照射を用いたSiO2の原子層エッチング

〇(M1)藤原 怜輝1、竹内 雅耶1、豊田 紀章1 (1.兵庫県立大)

キーワード:原子層エッチング、ガスクラスターイオンビーム