[10a-S301-1~10] 8.1 プラズマ生成・診断

[10a-S301-1] レーザー生成Snプラズマ発光誘起水素プラズマの時空間分解レーザートムソン散乱計測

〇神家 幸一郎¹、富田 健太郎^2,3、堀田 隼矢²、Yiming Pan²、戸室 啓明¹、森田 昌幸¹、柳田 達哉¹、内野 喜一郎²、山本 直嗣² (1.ギガフォトン、2.九大総理工、3.北大院工)

キーワード：極端紫外光、トムソン散乱

極端紫外(EUV)露光光源内部では，緩衝ガスの水素がEUV源のSnプラズマの発光に電離されており，この水素プラズマ中のラジカル・イオンがEUV集光鏡の汚染を抑制していると考えられる．本研究では，このSnプラズマ発光誘起水素プラズマのパラメータ計測がEUV集光鏡の曝される環境の理解に有用だと考え、レーザートムソン散乱法による電子密度・温度の時空間分布計測を行った．講演ではその結果を報告する．