[10p-N302-1~15] 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・MEMS・装置技術

[10p-N302-4] 深層学習を用いた低温ポリシリコン薄膜トランジスタの電気的特性推定

〇倉重 貴行¹、永野 貴寛¹、水谷 彬²、片山 慶太¹、中村 大輔¹、後藤 哲也³、池上 浩^1,2 (1.九大シス情、2.九大ギガフォトン共同部門、3.東北大未来研)

キーワード：低温ポリシリコン薄膜トランジスタ、エキシマレーザーアニーリング、深層学習