[10p-N321-1~3] 15.2 II-VI族結晶および多元系結晶

[10p-N321-1] 原子層堆積法によるAl₂O₃/ZnO/Al₂O₃構造の薄膜成長

〇今井 悠真¹、小林 舜¹、居波 渉¹、中村 篤志¹ (1.静大院工)

キーワード：原子層堆積法(ALD)、酸化亜鉛