[10p-N401-1~10] 7.2 電子ビーム応用

[10p-N401-3] アモルファス炭素被覆による球面電子源の開発

〇鶴田 諒平¹、日向 雄介¹、古澤 怜也¹、佐々木 正洋¹、松永 宗一郎^2,3、山田 洋一¹ (1.筑波大数理、2.日立研開、3.日立ハイテク)

キーワード：電子源、電界放出

走査電子顕微鏡の高い空間分解能を実現するため、用いられる電子源の高輝度化、エネルギー分散の低減が求められている。最近では光源先端をファセットのない球面構造にすることで高輝度化が期待できる球面電子源が注目されている。本研究ではアモルファス炭素被覆により、球面電子源を作製した。この炭素被覆電子源の電子放出特性計測を行い、安定した放出電流とエネルギー分布を持つことが明らかとなったので報告する。