[10p-N403-1~17] 9.2 ナノ粒子・ナノワイヤ・ナノシート

[10p-N403-17] ナノ粒子表面における大気中吸着水を介したキャリア伝導

〇加納 伸也¹、銘苅 春隆¹ (1.産総研)

キーワード：ナノ粒子

材料表面における水分子の吸着現象は、大気中で材料を扱う上で重要な現象となる。材料に吸着する水分子数が増えると、分子同士が互いに水素結合し、水分子層のネットワークを形成する。これまでに我々は、シリコン酸化物を表面に有するナノ粒子を感湿膜として用いることで、湿度変化に素早く応答する湿度センサの開発を進めてきた。今回はこのナノ粒子塗布薄膜の電気伝導の温度依存性を調べ、高湿度環境下でのキャリア伝導の詳細を議論する。