[12a-N203-1~10] 6.4 薄膜新材料

[12a-N203-2] Al薄膜およびPt薄膜の抵抗率におけるスパッタガス種の影響

〇早坂 楓光斗¹、川村 みどり¹、木場 隆之¹、阿部 良夫¹ (1.北見工大工)

キーワード：Pt薄膜、Krガス、質量数