[12p-N102-1~15] 8.2 プラズマ成膜・エッチング・表面処理

[12p-N102-2] 大気圧プラズマ処理を施したPTFE表面における化学種の経時変化

〇中山 真斗¹、坂口 雅人¹、加藤 聖隆²、黒木 雄一郎¹ (1.サレジオ高専、2.サーフクリーン)

キーワード：PTFE、大気圧プラズマ処理、表面改質

我々はPTFE表面を大気圧プラズマ処理することにより、金属との接着強度が向上することを報告してきた。また、この処理により試料表面の水素原子が脱離し、酸素原子が結合することを明らかにした。本研究では、PTFEの表面に大気圧プラズマ処理を施した際の、化学種の経時変化を確認した。1日経過した試料は処理直後の化学種と同じであったのに対し、3週間経過すると、処理前とほぼ同じ状態に戻ることを確認した。